(1) 항목 세척 및 전처리를 포함한 PVD 전 처리.구체적인 세척 방법에는 세제 세척, 화학 용제 세척, 초음파 세척 및 이온 충격 세척이 있습니다.
(2) 진공챔버 청소 및 고정물, 설치, 시운전 및 품목 및 고정물의 연결을 포함하여 로에 넣습니다.
(3) 일반적으로 6.6Pa 이상의 펌핑을 하는 진공은 확산펌프의 전면을 먼저 열어 진공펌프를 유지하고 확산펌프를 가열한다.예열이 충분하면 높은 밸브를 열고 확산 펌프를 사용하여 6 x 10-3 Pa 절반 바닥 진공으로 펌핑합니다.
(4) 베이킹, 원하는 온도로 항목을 굽는다.
(5) 이온 충격, 진공은 일반적으로 10 Pa ~ 10-1 Pa, 이온 충격 전압은 200 V ~ 1 KV의 음의 고전압이며 공격 시간은 15 분 ~ 30 분입니다.
(6) Pre-melting, 전류를 조정하여 재료를 pre-melt, 전류를 조정하여 도금을 미리 녹이고 1분 ~ 2min 동안 탈기합니다.증발 증착.증발 전류는 원하는 증착 시간이 끝날 때까지 필요에 따라 조정됩니다.냉각, 항목은 진공 챔버에서 특정 온도로 냉각됩니다.
(7) 항목을 꺼낸 후 진공 챔버를 닫고 진공을 l × l0-1Pa로 배기하고 확산 펌프를 허용 온도로 냉각시킨 후 유지 보수 펌프와 냉각수를 차단할 수 있습니다.